现阶段，汽体传感器的应用逐步普遍，在物联网技术等泛在运用的促进下，其技术性发展前景刚开始向实用化、一体化、模块化设计、智能化系统方位发展趋势。

具备象征性的应用场景氢氧化物半导体材料比较敏感原材料(MOS)气体传感器已运用于安全性、自然环境、房屋操纵等行业的可燃气体检测，此类控制器的耗能是牵制其规模性布置的关键连接点，MEMS技术性为处理MOS气体传感器的此类难题出示了强大的合理途迳和计划方案。MEMS技术性的运用也为此类控制器的一体化出示牢靠的基本。不容置疑，应用场景MEMS的方案设计将变成将来气体传感器的关键发展前景之首。

现阶段，销售市场以单晶硅原材料为衬底，非硅材料为比较敏感层的MEMS气体传感器更为普遍，现就销售市场普遍MEMS气体传感器种类多方面详细介绍：

MEMS电导型气敏传感器

这类气敏传感器的比较敏感原材料是氢氧化物半导体材料或导电性高聚物。当这种原材料曝露于被测汽体中，汽体会与他们产生功效，造成导电率或电阻的转变，造成包括汽体成份和浓度值的电子信号，历经信号分析电源电路解决后，只能鉴别汽体的成份和浓度值。

应用数最多的氢氧化物半导体材料是二氧化锡，次之是二氧化钛、氧化锌等。为提升气敏传感器敏感度和目的性，因此会向氢氧化物中添加金属催化剂，如铂、钯等贵重金属或适合的氢氧化物。

MEMS氢氧化物半导体材料气敏传感器选用电子信息技术的破乳加工工艺在硅衬底上淀积氢氧化物比较敏感层，运用比较敏感层下的电阻器做电加热器，运用二级管做温度测量元器件，必需的数据信号电源电路和记录电源电路还可以集成化在相同硅芯片上。

MEMS微气体传感器的加工工艺如下图所示，其特性取决于将加温电级、电缆护套和检测电级一层层一层层先后沉积累加一起。